Ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsverfahren für die Herstellung hocheffizienter Silizium Solarzellen
| Autor | |
| Quelle | Sonstige Datenquellen |
| ISBN | 978-3-8396-1038-1 |
| Lieferbarkeit | nicht lieferbar |
| Katalogisat | Basiskatalogisat |
| Verlag | Fraunhofer Verlag |
| Erscheinungsdatum | 18.08.2016 |
Beschreibung (Kurztext)
In dieser Arbeit wurden für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsmethoden entwickelt. Diese sind geeignet im industriellen Maßstab Silizium-Wafer von Kontaminationen zu reinigen und die Eigenschaften der Ober- und Grenzfläche, anwendungsspezifisch auf die verwendete Passivierschicht angepasst, vorzubereiten. Der Fokus lag auf der Herstellung und Charakterisierung von ultra-dünnen SiOx-Schichten für das TOPCon Zellkonzept.
Dissertationsschrift
Beschreibung (Langtext)
Mit einem stetig zunehmenden Anteil hocheffizienter Solarzellkonzepte mit oberflächensensitiven Passivierschichten, ändern sich gleichzeitig die Anforderungen an die Reinheit und Beschaffenheit der Ober- und Grenzfläche zwischen dem Si-Basissubstrat und der Passivierschicht. In dieser Arbeit wurden für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsmethoden entwickelt. Diese sind geeignet im industriellen Maßstab Silizium-Wafer von Kontaminationen zu reinigen und die Eigenschaften der Ober- und Grenzfläche, anwendungsspezifisch auf die verwendete Passivierschicht angepasst, vorzubereiten. Der Fokus lag auf der Herstellung und Charakterisierung von ultra-dünnen SiOx-Schichten für das TOPCon Zellkonzept.
